详情
IWAKI(易威奇) 风囊泵
在半导体制造过程中的超净规格用泵,有良好的跟踪记录。波纹管泵寿命长,停机时间短。
所有接液部件都使用氟塑料,它们可以处理用于半导体应用的化学品,如酸、碱和过量的水。泵的外表面涂有氟塑料,因此没有金属零件暴露出来。
特点:
-
优秀的设计,波纹管使用寿命长。
-
使用耐化学腐蚀和耐热氟塑料对所有被润湿部件进行无污染设计。
-
泵头和波纹管焊接成整体结构,消除了流体泄漏的问题。
FLP-60W 低脉动气动风囊泵
低脉动
独特的系统驱动机制,确保气囊最佳运动效果,将脉动减到最低。
减低压缩空气消耗量
在不影响泵的性能下,减少高达30%的压缩空气消耗量。
高持续压力
最佳的气囊运动,有效提高压力的承受能力,以维持稳定的流量和负载频繁变化下的吐出压力,尤其在单晶圆处理过程中。
无需阻尼器
泵的运作无需使用阻尼器,节省设备空间及安装费用,例如氟塑料接管等。整体设备的重量/尺寸得以最小化。
规格
最大流量 L/min |
50 |
最大脉动宽度 MPa |
0.06 |
液体温度范围 °C(MPa)
(最大压缩空气压力) |
5 ~ 100 (0.5), 101 ~ 150 (0.4), 151 ~ 180 (0.3) |
压缩空气压力范围 MPa |
0.41~0.5 |
0.31~0.4 |
0.21~0.3 |
0.11~0.2 |
0.1 |
最高冲程率 spm |
120 |
140 |
155 |
160 |
最大压缩空气消耗量 NL/min |
464 |
419 |
338 |
252 |
116 |
最大粘度 mPa·S |
50 |
吸程 m |
1 |
环境温度 / 湿度 °C/%RH |
0 ~ 40 (非冷凝) / 30 ~ 60 (非冷凝) |
储存温度 / 湿度 °C/%RH |
-10 ~ 60 (非冷凝) / 20 ~ 70 (非冷凝) |
操作方式 |
间隔 /连续 |
驱动方式 |
外部压缩空气 |
接头尺寸 mm |
Ø25 x Ø22 软管 |
压缩空气接头尺寸 |
Rc3/8 |
空气端口 |
Ø6 一触式接头 |
重量 kg |
22 |
FS 系列 外型小巧、低成本、高速冲程的气动风囊泵
高速冲程
提升泵的冲程速度 (最高达240 spm),让制造过程中,大大减少泵的尺寸、重量、成本,及降低脉动。
无污染设计
过流端零件均采用氟树脂材质,没有金属零件外露的设计,外壳采用氟树脂材质。使用独有的轴封 (已申请专利),能显著降低颗粒的产生。
液体输送温度范围宽泛/高吐出压力
液体输送温度范围高达5 - 180°C,吐出压力高达45MPa。不仅适用于清洗和CMP制程,同时适用于化学液体供药。
易于维护
更换开关无需拆卸,不需定期收紧螺栓,减少了停机时间。
传感器驱动系统
内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此,即使连接各种控制器,亦可以轻易控制吐出量。
规格:
最大吐出量 |
55 L/min |
最大吐出压力 |
0.5 MPa |
最大耗气量 |
670 NL/min |
最大冲程率 |
240 spm |
主要材质 |
PTFE, PFA |
液体输送温度范围 |
5 ~ 180 °C |
FS-N 系列 适用于各类供药系统,吐出量达100L/min
高速冲程
高速冲程 (FS-80N最高达200 spm),让结构紧凑、重量轻、成本低,可同时用于高流量及高压力工况。
无污染设计
过流端采用氟树脂无污染构造,使用独有的轴封显著降低颗粒的产生(已申请专利)。
高流量及高吐出压力
最大吐出量高达0.7MPa,不仅满足化学供药过程中高流量及高吐出压力的需求,同时适用于清洗及CMP制程。
传感器驱动系统
内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此,即使连接各种控制器,亦可以轻易控制吐出量。