在半导体制造过程中的超净规格用泵,有良好的跟踪记录。波纹管泵寿命长,停机时间短。
所有接液部件都使用氟塑料,它们可以处理用于半导体应用的化学品,如酸、碱和过量的水。泵的外表面涂有氟塑料,因此没有金属零件暴露出来。
最大流量 L/min | 50 | ||||
最大脉动宽度 MPa | 0.06 | ||||
液体温度范围 °C(MPa) (最大压缩空气压力) |
5 ~ 100 (0.5), 101 ~ 150 (0.4), 151 ~ 180 (0.3) | ||||
压缩空气压力范围 MPa | 0.41~0.5 | 0.31~0.4 | 0.21~0.3 | 0.11~0.2 | 0.1 |
最高冲程率 spm | 120 | 140 | 155 | 160 | |
最大压缩空气消耗量 NL/min | 464 | 419 | 338 | 252 | 116 |
最大粘度 mPa·S | 50 | ||||
吸程 m | 1 | ||||
环境温度 / 湿度 °C/%RH | 0 ~ 40 (非冷凝) / 30 ~ 60 (非冷凝) | ||||
储存温度 / 湿度 °C/%RH | -10 ~ 60 (非冷凝) / 20 ~ 70 (非冷凝) | ||||
操作方式 | 间隔 /连续 | ||||
驱动方式 | 外部压缩空气 | ||||
接头尺寸 mm | Ø25 x Ø22 软管 | ||||
压缩空气接头尺寸 | Rc3/8 | ||||
空气端口 | Ø6 一触式接头 | ||||
重量 kg | 22 |
最大吐出量 | 55 L/min |
最大吐出压力 | 0.5 MPa |
最大耗气量 | 670 NL/min |
最大冲程率 | 240 spm |
主要材质 | PTFE, PFA |
液体输送温度范围 | 5 ~ 180 °C |
最大吐出量 | 100 L/min |
最大吐出压力 | 0.7 MPa |
最大耗气量 | 1495 NL/min |
最大冲程率 | 100 spm |
主要材质 | PTFE, PFA |
液体输送温度范围 | 5 ~ 60 °C |