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IWAKI（易威奇） 风囊泵
在半导体制造过程中的超净规格用泵，有良好的跟踪记录。波纹管泵寿命长，停机时间短。
所有接液部件都使用氟塑料，它们可以处理用于半导体应用的化学品，如酸、碱和过量的水。泵的外表面涂有氟塑料，因此没有金属零件暴露出来。
特点：
-
使用耐化学腐蚀和耐热氟塑料对所有被润湿部件进行无污染设计。
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泵头和波纹管焊接成整体结构，消除了流体泄漏的问题。
FLP-60W 低脉动气动风囊泵
低脉动
独特的系统驱动机制，确保气囊最佳运动效果，将脉动减到最低。
减低压缩空气消耗量
在不影响泵的性能下，减少高达30%的压缩空气消耗量。
高持续压力
最佳的气囊运动，有效提高压力的承受能力，以维持稳定的流量和负载频繁变化下的吐出压力，尤其在单晶圆处理过程中。
无需阻尼器
泵的运作无需使用阻尼器，节省设备空间及安装费用，例如氟塑料接管等。整体设备的重量/尺寸得以最小化。
规格
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最大流量 L/min |
50 |
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最大脉动宽度 MPa |
0.06 |
液体温度范围 °C(MPa)
(最大压缩空气压力) |
5 ~ 100 (0.5), 101 ~ 150 (0.4), 151 ~ 180 (0.3) |
|
压缩空气压力范围 MPa |
0.41~0.5 |
0.31~0.4 |
0.21~0.3 |
0.11~0.2 |
0.1 |
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最高冲程率 spm |
120 |
140 |
155 |
160 |
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最大压缩空气消耗量 NL/min |
464 |
419 |
338 |
252 |
116 |
|
最大粘度 mPa·S |
50 |
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吸程 m |
1 |
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环境温度 / 湿度 °C/%RH |
0 ~ 40 (非冷凝) / 30 ~ 60 (非冷凝) |
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储存温度 / 湿度 °C/%RH |
-10 ~ 60 (非冷凝) / 20 ~ 70 (非冷凝) |
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操作方式 |
间隔 /连续 |
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驱动方式 |
外部压缩空气 |
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接头尺寸 mm |
Ø25 x Ø22 软管 |
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压缩空气接头尺寸 |
Rc3/8 |
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空气端口 |
Ø6 一触式接头 |
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重量 kg |
22 |
FS 系列 外型小巧、低成本、高速冲程的气动风囊泵
高速冲程
提升泵的冲程速度 (最高达240 spm)，让制造过程中，大大减少泵的尺寸、重量、成本，及降低脉动。
无污染设计
过流端零件均采用氟树脂材质，没有金属零件外露的设计，外壳采用氟树脂材质。使用独有的轴封 (已申请专利)，能显著降低颗粒的产生。
液体输送温度范围宽泛/高吐出压力
液体输送温度范围高达5 - 180°C，吐出压力高达45MPa。不仅适用于清洗和CMP制程，同时适用于化学液体供药。
易于维护
更换开关无需拆卸，不需定期收紧螺栓，减少了停机时间。
传感器驱动系统
内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此，即使连接各种控制器，亦可以轻易控制吐出量。
规格：
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最大吐出量 |
55 L/min |
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最大吐出压力 |
0.5 MPa |
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最大耗气量 |
670 NL/min |
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最大冲程率 |
240 spm |
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主要材质 |
PTFE, PFA |
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液体输送温度范围 |
5 ~ 180 °C |
FS-N 系列 适用于各类供药系统，吐出量达100L/min
高速冲程
高速冲程 (FS-80N最高达200 spm)，让结构紧凑、重量轻、成本低，可同时用于高流量及高压力工况。
无污染设计
过流端采用氟树脂无污染构造，使用独有的轴封显著降低颗粒的产生(已申请专利)。
高流量及高吐出压力
最大吐出量高达0.7MPa，不仅满足化学供药过程中高流量及高吐出压力的需求，同时适用于清洗及CMP制程。
传感器驱动系统
内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此，即使连接各种控制器，亦可以轻易控制吐出量。
规格
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最大吐出量 |
100 L/min |
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最大吐出压力 |
0.7 MPa |
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最大耗气量 |
1495 NL/min |
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最大冲程率 |
100 spm |
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主要材质 |
PTFE, PFA |
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液体输送温度范围 |
5 ~ 60 °C |
